[发明专利]感应式超导边缘探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710602494.4 | 申请日： | 2017-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN109285941B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 钟青;王雪深;李劲劲;曹文会;钟源;王兰若 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | H01L39/02 | 分类号： | H01L39/02;H01L39/22;H01L39/24 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘诚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种感应式超导边缘探测器及其制作方法，所述感应式超导边缘探测器包括：包括：衬底、吸收层、介质层、绝缘层、超导薄膜层和约瑟夫森桥结；所述吸收层设置在所述衬底的一个表面；所述介质层设置在所述吸收层远离与所述衬底的表面，所述介质层具有增透性；所述绝缘层覆盖所述吸收层和介质层设置；所述超导薄膜层设置在所述绝缘层远离所述衬底的表面，并以连续闭合结构环绕所述吸收层和介质层设置；所述约瑟夫森桥结设置在所述超导薄膜层上。此感应式超导边缘探测器包含有一层具有对光子具有增透作用的介质层，提高了感应式超导边缘探测器对单光子的吸收效率。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 超导 边缘 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种感应式超导边缘探测器，其特征在于，包括：衬底；吸收层，设置在所述衬底的一个表面；介质层，设置在所述吸收层远离所述衬底的表面，所述介质层具有增透性；绝缘层，覆盖所述吸收层和介质层设置；超导薄膜层，设置在所述绝缘层远离所述衬底的表面，并以连续闭合结构绕所述吸收层和介质层设置；约瑟夫森桥结，设置在所述超导薄膜层上。
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