[发明专利]一种取晶、固晶装置及其采用它的固晶机

摘要

本发明公开了一种取晶、固晶装置，固晶台沿X、Y方向运动，固晶台上嵌设有平面治具座，平面治具座与固晶台平齐，平面治具座连接有加热装置；转臂设有焊头，焊头用于取晶和固晶；基板位于固晶台上方且相对于固晶台沿X方向作进给运动；第一驱动装置用于驱动转臂圆周转动；晶圆台用于固定晶圆，晶圆台驱动装置用于驱动晶圆台沿X、Y方向运动以及驱动晶圆台绕其旋转轴线旋转。本发明有益效果：设置平面治具座，基板在一定的范围内加热，温度控制稳定，装片时不易产生空洞现象；在固晶时，焊头与基板之间的力集中于平面治具座上，大大降低了对固晶台整体平整度的要求，提高焊头与处于装片位基板的平行度，确保半导体器件的贴装平整度。

主权项

一种取晶、固晶装置，其特征在于，包括：固晶台，所述固晶台沿X、Y方向运动，所述固晶台上嵌设有平面治具座，所述平面治具座与所述固晶台平齐，所述平面治具座连接有加热装置；转臂，所述转臂设有沿平行于所述转臂的旋转轴线来回运动的焊头，所述焊头用于取晶和固晶；基板，所述基板位于所述固晶台上方且相对于所述固晶台沿X方向作进给运动。第一驱动装置，所述第一驱动装置与所述转臂连接，用于驱动所述转臂圆周转动；晶圆台和晶圆台驱动装置，所述晶圆台用于固定晶圆，所述晶圆台驱动装置用于驱动所述晶圆台沿X、Y方向运动以及驱动所述晶圆台绕其旋转轴线旋转。