[发明专利]Al组分梯度渐变的蓝绿光敏感透射式GaAlAs阴极

摘要

本发明涉及一种Al组分梯度渐变的透射式GaAlAs阴极，对蓝绿光敏感；该阴极自下而上由Corning 7056^#玻璃基底、SiO₂保护层、Si₃N₄增透层、Al组分恒定的Ga_1‑x1Al_x1As窗口层、Al组分梯度渐变的Ga_1‑x2Al_x2As发射层以及Cs/O激活层组成。本发明基于Ga_1‑xAl_xAs三元化合物Al/Ga组分控制技术、III‑V族化合物材料外延技术、光电阴极组件制备技术和超高真空激活技术，制备出蓝绿光敏感的负电子亲和势透射式GaAlAs光电阴极，结合电子倍增器件构成蓝绿光探测器，可应用于海洋探测、海底成像等领域。

主权项

1.一种Al组分梯度渐变的蓝绿光敏感透射式GaAlAs阴极，其特征在于，该阴极自下而上由型号为Corning 7056^#的玻璃基底(1)、SiO₂保护层(2)、Si₃N₄增透层(3)、Ga_1‑x1Al_x1As窗口层(4)、Al组分梯度渐变的Ga_1‑x2Al_x2As发射层(5)以及Cs/O激活层(6)组成；所述Al组分梯度渐变Ga_1‑x2Al_x2As发射层(5)由4个p型Ga_1‑xAl_xAs外延材料构成的单元层组成，各单元层的Al组分由内到外梯度渐变，分别取0.70、0.55、0.40、0.25；每个单元层厚度值相同，为250nm；4个单元层都采用Be掺杂，掺杂浓度为8.0×10¹⁸cm^‑3。