[发明专利]一种硅片表面钝化方法

摘要

本发明公开了一种硅片表面钝化方法，包括以下步骤1)将硅片经去离子水清洗后使用第一酸液洗去损伤层，所述第一酸液包括HF和HNO3；2)将步骤1)中经过第一酸液酸洗的硅片再次经去离子水洗后进行碱漂洗；3)将步骤2)中经过碱漂洗的硅片再次经去离子水洗后使用第二酸液进行酸洗，所述第二酸液包括HF和HCl；4)将步骤3)中经过第二酸液酸洗的硅片再次经去离子水洗后烘干，得到预处理好的硅片；5)将所述预处理好的硅片采用ALD技术进行双面Al2O3镀膜；6)将镀好Al2O3膜的硅片进行退火处理，得到钝化处理完的硅片；7)对所述钝化处理完的硅片进行少子寿命测试。本发明提供的硅片表面钝化方法能够解决碘酒钝化不均匀，少子寿命低的问题。

主权项

一种硅片表面钝化方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将硅片经去离子水清洗后使用第一酸液洗去损伤层，所述第一酸液包括HF和HNO3；2)将步骤1)中经过第一酸液酸洗的硅片再次经去离子水洗后进行碱漂洗；3)将步骤2)中经过碱漂洗的硅片再次经去离子水洗后使用第二酸液进行酸洗，所述第二酸液包括HF和HCl；4)将步骤3)中经过第二酸液酸洗的硅片再次经去离子水洗后烘干，得到预处理好的硅片；5)将所述预处理好的硅片采用ALD技术进行双面Al2O3镀膜；6)将镀好Al2O3膜的硅片进行退火处理，得到钝化处理完的硅片；7)对所述钝化处理完的硅片进行少子寿命测试。