[发明专利]柔性OLED阵列基板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性OLED阵列基板，其包括柔性基板、阻挡层、缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层、第二栅极、第一层间介电层、第二层间介电层、钝化层以及像素定义层。本发明还提供一种柔性OLED阵列基板的制作方法。本发明通过第二栅极绝缘层上第一栅极绝缘层刻蚀孔和第二栅极绝缘层刻蚀孔；以及第一层间介电层上第一层间介电层刻蚀孔以及第二层间介电层刻蚀孔的设置；提高了对应柔性OLED显示面板的使用稳定性以及使用寿命。

主权项

1.一种柔性OLED阵列基板，其特征在于，包括：柔性基板；阻挡层，设置在所述柔性基板上，用于阻挡外部水气以及氧气；缓冲层，设置在所述阻挡层上；有源层，设置在所述缓冲层上，包括位于所述有源层中部的沟道、位于所述有源层一侧的源极掺杂层和位于所述有源层另一侧的漏极掺杂层；第一栅极绝缘层，设置在所述缓冲层和所述有源层上；第一栅极，设置在所述第一栅极绝缘层上；第二栅极绝缘层，设置在所述第一栅极绝缘层和所述第一栅极上，所述第二栅极绝缘层上设置有贯通到所述第一栅极绝缘层的第一栅极绝缘层刻蚀孔和贯通到所述缓冲层的第二栅极绝缘层刻蚀孔；第二栅极，设置在所述第二栅极绝缘层上；第一层间介电层，设置在所述第二栅极绝缘层和所述第二栅极上；所述第一层间介电层上设置有贯通至所述第一栅极绝缘层刻蚀孔的第一层间介电层刻蚀孔以及贯通至所述缓冲层的第二层间介电层刻蚀孔，所述第二层间介电层刻蚀孔的设置位置对应所述第二栅极绝缘层刻蚀孔的设置位置；第二层间介电层，设置在所述第一层间介电层上，所述第二层间介电层上设置有贯通至所述源极掺杂层的源极电极以及贯通至所述漏极掺杂层的漏极电极；钝化层，设置在所述第二层间介电层上，所述钝化层上设置有贯通至所述源极电极的金属阳极；以及像素定义层，设置在所述钝化层上。