[发明专利]抗蚀剂剥离液和抗蚀剂的剥离方法有效
| 申请号： | 201710610215.9 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107390482B | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 向喜广 | 申请（专利权）人： | 长濑化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种抗蚀剂剥离液和抗蚀剂的剥离方法，所述抗蚀剂剥离液为用于将抗蚀剂从具备金属配线和/或金属氧化物膜的基材剥离的抗蚀剂剥离液，该抗蚀剂剥离液的剥离性优异，所剥离的抗蚀剂的再附着量少，消泡性也优异。一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，其含有(A)胺、(B)有机溶剂和(C)重均分子量为5000～1000000的磺酸或羧酸或者它们的盐，(C)成分的含量为5.0重量％以下，不含有(D)水，或者含有(D)水且(D)成分的含量为60重量％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，其含有：(A)胺、(B)有机溶剂、和(C)重均分子量为5000～1000000的聚苯胺磺酸或其盐，所述聚苯胺磺酸或其盐的含量为5.0重量％以下，所述抗蚀剂剥离液进一步含有(D)水，所述水的含量为60重量％以下，所述胺为烷醇胺，所述烷醇胺的含量为1重量％～40重量％。
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