[发明专利]微机电光学波长参考标准具有效
| 申请号： | 201710610657.3 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109298504B | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 吴亚明;徐静 | 申请（专利权）人： | 安徽中科米微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/18 | 分类号： | G02B7/18;G02B26/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供的微机电光学波长参考标准具包括：法布里‑珀罗干涉腔，包括相对设置的第一光学反射镜和第二光学反射镜，且第一光学反射镜和第二光学反射镜中间设置间隔体；第一光学反射镜为由对称分布的双材料悬臂梁支撑的可动薄膜反射镜，第二光学反射镜为固定光学反射镜；双材料悬臂梁，包括具有不同热膨胀系数的悬臂梁主体和覆盖于悬臂梁主体表面的薄膜层，且能够随环境温度的变化推动第一光学反射镜沿着法布里‑珀罗干涉腔的法线方向移动。本发明实现了对光学波长参考标准具透射峰中心波长随温度漂移的高精度补偿，提高了光学波长参考标准具的温度稳定性，且有效减小了光学波长参考标准具的体积、降低了生产成本、可以实现批量化的生产。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 光学 波长 参考 标准 | ||
【主权项】：
1.一种微机电光学波长参考标准具，其特征在于，包括：法布里‑珀罗干涉腔，包括相对设置的第一光学反射镜和第二光学反射镜，且所述第一光学反射镜和所述第二光学反射镜中间设置间隔体；所述第一光学反射镜为由对称分布的双材料悬臂梁支撑的可动薄膜反射镜，所述第二光学反射镜为固定光学反射镜；所述双材料悬臂梁，包括悬臂梁主体和覆盖于所述悬臂梁主体表面的薄膜层，所述悬臂梁主体与所述薄膜层具有不同的热膨胀系数；所述双材料悬臂梁能够推动所述第一光学反射镜沿着所述法布里‑珀罗干涉腔的法线方向移动。
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