[发明专利]一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种含氟等离子刻蚀残留物清洗液、其制备方法和应用。本发明的清洗液的制备方法，其包括下列步骤：将下述原料混合，即可；所述的原料包含下列组分：分散剂、氟化物、有机溶剂、缓蚀剂、有机胺和水；其中，所述的分散剂为聚羧酸类分散剂和/或有机膦类分散剂。本发明的制备方法制得的清洗液长期放置和使用过程中几乎不发生团聚，基本不产生颗粒，且颗粒增加量小，清洗质量和效果好。

主权项

1.一种清洗液的制备方法，其特征在于，其包括下列步骤：将下述原料混合，即可；所述的原料包含下列组分：分散剂、氟化物、有机溶剂、缓蚀剂、有机胺和水；其中，所述的分散剂为有机膦类分散剂；所述的有机膦类分散剂为氨基三甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸、二乙烯三胺五甲叉膦酸、2‑羟基膦酰基乙酸、双1,6亚己基三胺五甲叉膦酸、己二胺四甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸和多氨基多醚基甲叉膦酸中一种或多种；所述的氟化物为氟化铵、四甲基氟化铵、三羟乙基氟化铵和氢氟酸中的一种或多种；所述的有机溶剂为醚类溶剂和/或酮类溶剂；所述的缓蚀剂为环己二胺四乙酸、亚氨基二乙酸、尿素和乙二胺四乙酸中的一种或多种；所述的有机胺为异丙醇胺、三乙醇胺、六亚甲基四胺和五甲基二乙烯三胺中的一种或多种；所述的有机胺的质量分数为5％‑40％；所述的分散剂的质量分数为2.5％‑3.5％；所述的缓蚀剂的质量分数为0.5％‑10％。