[发明专利]薄膜热导率的测量装置和测量方法在审
| 申请号： | 201710613766.0 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107478582A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 魏劲松;李奇松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01N21/55 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种薄膜热导率的测量装置和测量方法，本发明具有装置简单、无需接触和加热，只需知道金属表面温度的相对变化关系即可拟合，加热激光的脉宽和周期可任意变化，可测量不同结构的薄膜表面的热导率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 热导率 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜热导率的测量装置，包括泵浦光路、探测光路和探测光的反射光路，其特征在于：所述的泵浦光路包括信号发生器(13)，在信号发生器(13)的输出方向是405nm激光器(14)，沿405nm激光器(14)激光输出方向，依次是405nm的介质镜(5)，铝镜(6)、第一聚焦物镜(7)，经过第一聚焦物镜(7)后聚焦在位于样品台(8)上的待测样品上；所述的探测光路包括658nm激光器(1)，沿658nm激光器(1)激光输出方向依次是二分之一波片(2)、偏振分光棱镜(3)、四分之一波片(4)、所述的405nm的介质镜(5)、铝镜(6)、第一聚焦物镜(7)聚焦在位于样品台(8)上的待测样品上；所述的探测光的反射光路，经待测样品表面反射的反射光，依次经第一聚焦物镜(7)、铝镜(6)、405nm的介质镜(5)、四分之一波片(4)进入偏振分光棱镜(3)，经偏振分光棱镜(3)反射后经第二聚焦物镜(9)聚焦到光电探测器(10)上，该光电探测器(10)的信号经示波器(11)与计算机(12)相连，所述的二分之一玻片(2)和四分之一玻片(4)是658nm激光的二分之一玻片和四分之一玻片。
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