[发明专利]横向SAM与OAM可调的光子发射/接收芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 201710614113.4 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN107634801A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 张彦峰;邵增凯;朱江波;陈钰杰;余思远 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H04B10/40 | 分类号： | H04B10/40;H04B10/70 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种横向SAM与OAM可调的光子发射/接收芯片，包括片上集成的氮化硅微环波导，及片上集成的设置在氮化硅微环波导两侧的氮化硅锥形耦合波导结构，所述氮化硅微环波导内侧的倏逝波区设置有角向光栅阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 sam oam 可调 光子 发射 接收 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
横向SAM与OAM可调的光子发射/接收芯片，其特征在于：包括片上集成的氮化硅微环波导，及片上集成的设置在氮化硅微环波导一侧的氮化硅锥形耦合波导结构，所述氮化硅微环波导内侧的倏逝波区设置有角向光栅阵列。
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