[发明专利]检测任意波长光学系统的透射波前的方法

摘要

本发明提供了一种检测任意波长光学系统的透射波前的方法，具有这样的特征，包括以下步骤：步骤一，利用R种波长为λ₁～λ_m的激光干涉仪分别对光学系统进行检测，分别得到光学系统在波长为λ₁～λ_m的Zernike多项式Z₁(λ₁)、Z₂(λ₁)、……Z_k(λ₁)，……，以及Z₁(λ₂)、Z₂(λ₂)、……Z_k(λ₂)；步骤二，将步骤一得到的Zernike多项式代入公式：式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，m＝1，2，3，…，R，R≥2，2R‑1≤X_R‑1≤2R，计算参数A_1i、A_2i…A_Ri的值；步骤三，将计算得到的A_1i、A_2i…A_Ri的值代入公式中，计算波长为λ_n的光学系统的Zernike多项式Z_k(λ_n)；步骤四，根据Z_k(λ_n)拟合波长为λ_n的光学系统的透射波前，其中，200nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤2000nm。

主权项

1.一种检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，利用R种波长为λ₁～λ_m的激光干涉仪分别对光学系统进行检测，分别得到所述光学系统在波长为λ₁～λ_m的Zernike多项式Z₁(λ₁)、Z₂(λ₁)、……Z_k(λ₁)，……，以及Z₁(λ_m)、Z₂(λ_m)、……Z_k(λ_m)；步骤二，将步骤一得到的Zernike多项式代入公式：式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，m＝1，2，3，…，R，R≥2，2R‑3≤X_R‑1≤2R‑2，计算参数A_1i、A_2i…A_Ri的值；步骤三，将计算得到的A_1i、A_2i…A_Ri的值代入所述公式中，计算波长为λ_n的光学系统的Zernike多项式Z_k(λ_n)；以及步骤四，根据Z_k(λ_n)拟合波长为λ_n的光学系统的透射波前，其中，200nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤2000nm。