[发明专利]MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置

摘要

本发明提供了一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置，涉及传感器领域。其通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动，第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动，第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第一可变电容器，第二固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第二可变电容器，第一电荷放大电路与第一可变电容器耦合，第二电荷放大电路与第二可变电容器耦合，第一电荷放大电路与第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以根据输出电压判断MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。本发明能够提供一种结构简单、体积小巧的转动加速度传感器，能精确判断构件是否转动。

主权项

一种MEMS转动加速度传感器，其特征在于，包括壳体、第一质量块、第二质量块、第一连接杆、第一弹性连接件、第二弹性连接件、第一固定电容极板、第二固定电容极板、第一可动电容极板、第二可动电容极板、第一电荷放大电路以及第二电荷放大电路，所述第一质量块与所述第二质量块刚性连接后与所述第一连接杆的一端固定连接，所述第一连接杆的另一端固定连接于所述壳体上，所述第一弹性连接件分别与所述壳体和所述第一质量块连接，所述第二弹性连接件分别与所述壳体和所述第二质量块连接，所述第一可动电容极板设置于所述第一质量块上随所述第一质量块转动，所述第二可动电容极板设置于所述第二质量块上随所述第二质量块转动，所述第一固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第一固定电容极板与所述第一可动电容极板组成第一可变电容器，所述第二固定电容极板与所述壳体固定连接，所述第二固定电容极板与所述第二可动电容极板组成第二可变电容器，所述第一电荷放大电路与所述第一可变电容器耦合，所述第二电荷放大电路与所述第二可变电容器耦合，所述第一电荷放大电路与所述第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以使所述处理器根据第一电荷放大电路和所述第二电荷放大电路输出的电压判断所述MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。