[发明专利]基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法

摘要

本发明公开了一种基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法，包括：采用白光或低相干光作为入射光源，调整等光程干涉仪两光路臂之间光程差使其能够观察到干涉条纹；在两光路臂中分别置入棱镜组和光学平板玻璃，两路光束分别垂直棱镜组和光学平板玻璃端面，移动棱镜组中可动楔形棱镜调整光程差，直至测量过程中首次看到干涉条纹；在平板玻璃所在光路臂中置入被测透镜并让光束垂直通过透镜中心，继续移动可动楔形棱镜直至第二次看到圆形干涉条纹；分别记录两次观察到干涉条纹时可动楔形棱镜联动测量尺的位置读数，计算透镜中心厚度。本发明操作简便、非接触且无损测量，采用透过式干涉测量，特别适用于表面反射率极低的透镜中心厚度测量。

主权项

1.一种基于低相干光干涉法的透镜中心厚度的非接触测量方法，其特征在于，包括以下步骤：采用白光或低相干光作为等光程干涉仪的入射光源，调整等光程干涉仪的两光路臂之间的光程差，使其能够观察到干涉条纹；在等光程干涉仪的两光路臂中分别置入棱镜组和表面严格平行的光学平板玻璃，两路光束分别垂直棱镜组的端面和光学平板玻璃的端面，移动棱镜组中的可动楔形棱镜，调整两光路臂之间的光程差，直至测量过程中第一次观察到干涉条纹；然后，在光学平板玻璃之后或之前置入被测透镜，继续移动棱镜组中的可动楔形棱镜直至测量过程中第二次观察到圆形干涉条纹；分别记录测量过程中置入被测透镜之前和之后两次观察到干涉条纹时，棱镜组中的可动楔形棱镜的联动测量尺的第一位置读数和第二位置读数，并根据记录的第一位置读数和第二位置读数计算被测透镜的中心厚度；其中，移动棱镜组中的可动楔形棱镜直至观察到干涉条纹，具体为：采用相同玻璃材料和相同楔角的楔形上棱镜和楔形下棱镜组成所述棱镜组，将楔形上棱镜和楔形下棱镜以倾斜面相接触或平行且楔角相对的方式放置；将所述楔形上棱镜和所述楔形下棱镜的其中一个设置为可动楔形棱镜，另一个设置为固定楔形棱镜，且可动楔形棱镜的斜边长大于固定楔形棱镜的斜边长；沿倾斜面方向移动可动楔形棱镜，使楔形上棱镜和楔形下棱镜构成一个可调厚度的等效光学平板，藉此调整两光路臂之间的光程差，直至观察到干涉条纹。