[发明专利]扫描型显微镜

摘要

本发明提供一种扫描型显微镜。在扫描型显微镜中，设定降低试样上的污染物的影响的条件。扫描型显微镜，包括：带电粒子束源，其输出要照射到试样的带电粒子束；检测器，其检测来自上述试样的带电粒子；以及控制器，其对上述带电粒子束源以及上述检测器进行控制，上述控制器进行如下动作：使1个以上的可变参数发生变化，来决定多个不同的参数值集合；分别取得上述多个不同的参数值集合下的、对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果；以及根据上述测定结果，从上述多个不同的参数值集合中选择要使用于对象试样的测定的参数值集合。

主权项

1.一种扫描型显微镜，其特征在于，包括：/n带电粒子束源，其输出要照射到试样的带电粒子束；/n检测器，其检测来自上述试样的带电粒子；以及/n控制器，其对上述带电粒子束源以及上述检测器进行控制，/n上述控制器根据用户输入从多个可变参数中选择1个以上的可变参数，使上述1个以上的可变参数发生变化，且固定上述1个以上的可变参数以外的参数，来生成多个不同的参数值集合，/n取得上述多个不同的参数值集合的各个参数值集合下的、对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果，/n根据上述测定结果，从上述多个不同的参数值集合中选择要使用于对象试样的测定的参数值集合。/n