[发明专利]基于人工智能的半导体制造执行系统

摘要

本发明提供基于人工智能的半导体制造执行系统，包括若干个脑单元，脑单元与产线人员一一对应并根据产线人员的级联层次对应连接。当检测到机台处于预设工作状态时，判断出所需采取的相应操作并生成执行指令发送至产线人员对应的脑单元，以令该脑单元按照执行指令完成相应的业务内容。当检测到该脑单元没有完成业务内容时，判断出该产线人员的上级人员所需采取的相应操作并生成新的执行指令发送至该上级人员对应的脑单元，以令该脑单元完成业务内容。以此类推，直至初始执行指令被实施时停止向各级人员的脑单元发送执行指令。本发明无需人工利用生产报表对产品流程现场管理、监控和追踪，大幅度提高了工作效率，将人工从繁重的体力劳动中解放出来。

主权项

1.一种基于人工智能的半导体制造执行系统，其特征在于，包括：若干个脑单元，其中，各所述脑单元与各产线人员一一对应，并根据各所述产线人员之间的级联层次对应连接；当所述系统检测到机台处于预设工作状态时，根据实际情况判断出所需采取的相应操作，并据以生成执行指令发送至产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照所述执行指令完成相应的业务内容；当所述系统检测到所述产线人员对应的脑单元没有按照相应的执行指令完成业务内容时，根据实际情况判断出所述产线人员的上级产线人员所需采取的相应操作，并据以生成新的执行指令发送至所述上级产线人员对应的脑单元，以令所述产线人员对应的脑单元按照新的执行指令完成相应的业务内容；以此类推，直至初始执行指令被实施时停止向各层次的脑单元发送执行指令。