[发明专利]位置检测装置及位置检测方法

摘要

本发明提供一种能够在基板的正反两面进行基板的定位的位置检测装置。支承部支承基板。至少一个摄像装置对支承于支承部的基板进行拍摄。处理部根据由一个摄像装置拍摄支承于支承部的基板的角部而得到的第1图像来求出基板的位置信息。之后，处理部根据由一个摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于支承部的基板的角部而得到的第2图像、第1图像及根据第1图像而求出的基板的位置信息，求出正反面翻转后的基板的位置信息。

主权项

1.一种位置检测装置，其特征在于，具有：支承部，支承基板；至少一个摄像装置，对支承于所述支承部的所述基板进行拍摄；及处理部，所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1图像来求出所述角部的位置信息，所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2图像、所述第1图像及根据所述第1图像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息；其中，在求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息时，所述处理部使用将所述第1图像及所述第2图像中的一个图像镜像转换后的图像和另一个图像。