[发明专利]一种MEMS超环面微镜光纤光开关及其制造方法

摘要

一种MEMS超环面微镜光开关,使用超环面微镜作为光学反射模块，从发射端光纤射出的发散光，被超环面镜反射并会聚到接收端光纤中。超环面微镜通过MEMS工艺，使用渐变曝光的光刻方式批量生产，并使用多点电致伸缩材料支撑柱改变该微镜的角度。使用本发明提供的结构，可实现低插入损耗，高光学耦合效率，低串扰，高机械稳定性的高质量光开光，在光纤通讯和高端光纤传感器的应用中，具有重要作用。

主权项

1.一种光纤光开关，其特征在于，包括超环面微镜、发射光纤束、接收光纤束、电致伸缩柱体和基底，其中，所述超环面微镜作为光学反射模块，以将由所述发射光纤束射出的发散光，反射并会聚到接收光纤束中，通过改变所述超环面微镜的角度，实现发射光纤束和所述接收光纤束间任意两根光纤的两两相连，所述电致伸缩柱体作为上述超环面微镜的支撑结构，利用所述电致伸缩柱体的多点支撑柱，实现上述超环面微镜的支撑和方向的改变，上述电致伸缩柱体嵌入并固定在所述基底中。