[发明专利]测量装置有效
| 申请号： | 201710623218.6 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN107677210B | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 能丸圭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供测量装置，其包含：宽带光源；分光器；分配构件，其对各波长的光变更分配方向；聚光透镜；光传递构件；测量端子，其将构成光传递构件的多个光纤的另一方的端面分支成两个路径，测量端子具有反射镜和多个物镜，反射镜配设在多个第一端面，生成在光纤中逆行的第一返回光，多个物镜与板状物对置而成列并与多个第二端面对应配设；光分支构件，其从各光纤分支出第一返回光和由在板状物的上表面上反射的光和透过板状物而在下表面上反射的光在各光纤中逆行的第二返回光；分光干涉波形生成构件，其对各波长的光的强度进行检测而与各光纤对应地生成分光干涉波形；和计算构件，其对分光干涉波形进行波形解析而对与各光纤对应的板状物的厚度或高度进行计算。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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