[发明专利]飞行时间带电粒子光谱术有效
| 申请号： | 201710623476.4 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN108122730B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | O.J.鲁伊坦;P.H.A.穆特萨尔斯;J.F.M.范伦斯;W.维霍埃文;E.R.基伊夫特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J49/40 | 分类号： | H01J49/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;张涛 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及飞行时间带电粒子光谱术。一种用于执行带电粒子光谱术的装置，包括：‑源，用于产生沿着射束路径传播的带电粒子的脉冲射束；‑样本保持器，用于将样本保持在所述射束路径中的照射位置处；‑检测器装置，用于执行对穿越所述样本的带电粒子的能量区分检测，其中，在所述源与所述检测器装置之间，所述射束路径相继穿越下述各部分：‑充能腔，用于对所述射束施加时间相关的加速场；‑初级漂移空间；‑所述照射位置；‑时间聚焦腔，用于将所述射束中的能量差异转换成飞行时间差异；‑次级漂移空间。 | ||
| 搜索关键词： | 飞行 时间 带电 粒子 光谱 | ||
【主权项】：
一种用于执行带电粒子光谱术的装置，包括：‑ 源，用于产生沿着射束路径传播的带电粒子的脉冲射束；‑ 样本保持器，用于将样本保持在所述射束路径中的照射位置处；‑ 检测器装置，用于执行对穿越所述样本的带电粒子的能量区分检测，其特征在于，在所述源与所述检测器装置之间，所述射束路径相继穿越下述各部分：‑ 充能腔，用于对所述射束施加时间相关的加速场；‑ 初级漂移空间；‑ 所述照射位置；‑ 时间聚焦腔，用于将所述射束中的能量差异转换成飞行时间差异；‑ 次级漂移空间。
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