[发明专利]可产生暗环的圆环达曼光栅有效
| 申请号： | 201710624733.6 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN107272100B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 余俊杰;周常河 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种可产生暗环的圆环达曼光栅，该圆环达曼光栅所形成的相位延迟分布按照同心环区从圆心由内到外不同环区依次为0、π交替相位延迟；所述的圆环达曼光栅沿径向坐标具有周期性，且每个周期内的归一化相位突变点即归一化相位转折点满足关系：后半周期归一化相位转折点由前半周期归一化相位转折点加上0.5得到。该圆环达曼光栅其傅立叶变换面上强度分布为环形光斑分布，且所在的环形光斑环区中心处亮度为暗环。这种暗环光场分布可应用于粒子和细胞光学操控等应用场合。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 圆环 光栅 | ||
【主权项】：
1.一种可产生暗环的圆环达曼光栅，其特征在于该圆环达曼光栅为透射式面浮雕型圆环达曼光栅，以熔石英为基底材料，通过光刻和干法刻蚀工艺在熔石英基底上直接刻蚀出二值面浮雕型同心环区微结构，其浮雕型同心环区的半径沿径向坐标具有周期性，且一个周期内的归一化半径依次为0.0118,0.1371,0.5,0.5118,0.6371；相邻环区的台阶深度差满足公式：/n
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