[发明专利]清洁治具在审
| 申请号： | 201710625710.7 | 申请日： | 2017-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN107193143A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 魏德萌;王浩 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洁治具，用于清洁制作CF基板时在高温烘烤设备中形成的光阻凝结物；该清洁治具包括依次相连的供电部、清洗液存放部以及清洗液雾化部，清洗液雾化部的远离清洗液存放部的端部设置有清洁部件；供电部和清洗液存放部上设置有手柄，手柄可相对于供电部及清洗液存放部按照远离或靠近清洗液雾化部的方向滑动，以使该清洁治具有可伸缩性；在供电部的作用下，清洗液存放部中存放的清洗液流至清洗液雾化部并形成清洗液喷雾，该清洗液喷雾喷至清洁部件上以湿润清洁部件。相比现有技术中的清洁方法，基于本发明的清洁治具不仅可以免去人工攀高作业，降低工作人员作业危险，而且还简化了清洁工艺，提高了清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 | ||
【主权项】：
一种清洁治具，用于清洁制作CF基板时在高温烘烤设备中形成的光阻凝结物；其特征在于，所述清洁治具包括依次相连的供电部、清洗液存放部以及清洗液雾化部，所述清洗液雾化部的远离所述清洗液存放部的端部设置有清洁部件；所述供电部和所述清洗液存放部上设置有手柄，所述手柄可相对于所述供电部及所述清洗液存放部按照远离或靠近所述清洗液雾化部的方向滑动，以使所述清洁治具有可伸缩性；在所述供电部的作用下，所述清洗液存放部中存放的清洗液流至所述清洗液雾化部并形成清洗液喷雾，所述清洗液喷雾喷至所述清洁部件上以湿润所述清洁部件。
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