[发明专利]一种MEMS电喷雾推力器阵列结构及实现方法在审
| 申请号： | 201710627162.1 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107472556A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 耿金越;魏福智;刘旭辉;龙军;扈延林;沈岩;陈君;毛威;李栋;吴耀武;仝颖刚;吴朋安;周磊;李胜军;臧娟伟 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | B64G1/26 | 分类号： | B64G1/26;B81C3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心11009 | 代理人： | 陈鹏 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS电喷雾推力器阵列结构及实现方法，包括101、对硅片进行深硅刻蚀和湿法腐蚀得到安装基座(1)；102、对多孔材料采用电化学腐蚀得到发射极(2)；103、将发射极(2)键合在安装基座(1)上；104、通过硅‑玻璃‑硅阳极键合及玻璃腐蚀、深硅刻蚀得到定位及绝缘层(3)；105、通过环氧树脂将定位及绝缘层(3)键合连接在安装基座(1)的四个角；106、对硅片进行深硅刻蚀和湿法腐蚀得到电极安装框架(4)，并通过环氧树脂将所述电极安装框架(4)与所述定位及绝缘层(3)键合；107、利用在硅基材料金属溅射及电镀得到抽取极(5)和加速极(6)；108、通过储箱(7)上的凸台，将存储推进剂的储箱(7)与发射极(2)连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 喷雾 推力 阵列 结构 实现 方法 | ||
【主权项】：
一种MEMS电喷雾推力器阵列结构，其特征在于，包括：安装基座(1)、发射极(2)、定位及绝缘层(3)、电极安装框架(4)、抽取极(5)、加速极(6)、以及储箱(7)；所述发射极(2)为由突起作为基本单元构成的阵列结构，所述发射极(2)与所述安装基座(1)键合连接；所述定位及绝缘层(3)，位于所述安装基座(1)的四个角，与所述安装基座(1)之间键合连接，电气隔离所述发射极(2)与所述抽取极(5)；所述电极安装框架(4)，与所述定位及绝缘层(3)键合连接；所述加速极(6)和所述抽取极(5)为由通孔作为基本单元构成的阵列结构，所述发射极(2)阵列结构中的突起与所述加速极(6)和所述抽取极(5)阵列结构中的通孔一一对应，所述加速极(6)和所述抽取极由上至下依次置于所述电极安装框架(4)的固定槽内；所述储箱，与所述发射极(2)通过所述储箱上的凸台连接，所述储箱内存储所述发射极(2)突起向外喷射的推进剂。
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