[发明专利]激光制备熔石英连续相位板的方法在审
| 申请号： | 201710629419.7 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107247300A | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 白阳;廖威;张传超;蒋晓龙;陈静;张丽娟;蒋一岚;栾晓雨;王海军;周海;袁晓东 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B27/09 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙)51124 | 代理人： | 李凌峰 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学领域。本发明提供了一种激光制备熔石英连续相位板的方法，用于获得更小的去除函数尺寸来满足更精细化的焦斑均匀性控制要求，其技术方案可概括为首先对激光束进行聚焦，然后设置激光器输出功率参数及扫描振镜扫描速度，并设定扫描振镜扫描路径参数，再将熔石英元件置于激光束的焦点处，通过激光辐照熔石英元件表面，改变熔石英元件扫描区域的假想温度分布，使之与设定的连续相位板空间结构相对应，得到激光辐照元件，最后通过兆声波辅助氢氟酸刻蚀工艺，对其进行刻蚀，使之呈现出假想温度调控区域轮廓，得到熔石英连续相位板。本发明的有益效果是提高加工效率，适用于熔石英连续相位板的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 制备 石英 连续 相位 方法 | ||
【主权项】：
激光制备熔石英连续相位板的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、对激光器输出的经过扫描振镜反射后的激光束进行聚焦；步骤2、设置激光器输出功率参数及扫描振镜扫描速度，并设定扫描振镜扫描路径参数；步骤3、将欲制备熔石英连续相位板的熔石英元件置于激光束的焦点处，通过激光辐照熔石英元件表面，改变熔石英元件扫描区域的假想温度分布，使之与设定的连续相位板空间结构相对应，得到激光辐照元件；步骤4、通过兆声波辅助氢氟酸刻蚀工艺，对所得到的激光辐照元件进行刻蚀，使之呈现出假想温度调控区域轮廓，得到熔石英连续相位板。
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