[发明专利]一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法有效
| 申请号： | 201710630405.7 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107290083B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 秦明;王振军;龙克文;何华娟 | 申请（专利权）人： | 佛山市川东磁电股份有限公司;东南大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 肖平安 |
| 地址： | 528500 广东省佛山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及压力传感器技术领域，特指一种可单面封装的双膜电容式压力传感器及制作方法，包括玻璃衬底，玻璃衬底上设有小浅槽与大浅槽，小浅槽通过细槽连通于大浅槽，大浅槽上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2，可测量低压差的电容C1包括底电极板与薄压力敏感膜，可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜与顶电极板，小浅槽通过细槽与可测量低压差的电容C1对应设置，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置。本发明采用变间距原理实现压力到电容的转换，可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2分别实现了低压段与高压段的高精度测量，不仅提高了压力测量精度，也提升了传感器的测量范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单面 封装 电容 压力传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种可单面封装的双膜电容式压力传感器，其特征在于：包括玻璃衬底(7)，所述玻璃衬底(7)上设有小浅槽(8)与大浅槽(70)，所述小浅槽(8)通过细槽(9)连通于大浅槽(70)，所述大浅槽(70)上设有可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2，所述可测量低压差的电容C1包括底电极板(1)与薄压力敏感膜(2)，所述可测量高压差的电容C2包括厚压力敏感膜(3)与顶电极板(4)，所述小浅槽(8)通过细槽(9)与可测量低压差的电容C1对应设置，所述可测量低压差的电容C1与可测量高压差的电容C2对应设置；所述底电极板(1)覆盖于大浅槽(70)底面上，所述薄压力敏感膜(2)覆盖于大浅槽(70)对应部分的玻璃衬底(7)上表面，所述厚压力敏感膜(3)与薄压力敏感膜(2)之间设有第一支撑材料(5)，所述顶电极板(4)与厚压力敏感膜(3)之间设有第二支撑材料(6)。
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