[发明专利]一种金刚石薄膜热导率测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 201710631819.1 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107389728A | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 张景文;王进军;翟文博;王明海;王晓亮;卜忍安;王宏兴;侯洵 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石薄膜热导率测量装置及测量方法，通过采用红外热像仪测量待测金刚石薄膜热传导分布图，通过分别计算热传导过程中成像的温度梯度，进而得到热辐射温度变化率，从而计算得到各待测金刚石薄膜的相对热导率，再通过已知热导率的金刚石薄膜的热导率和相对热导率计算得到比例系数，从而得到待测金刚石薄膜的热导率，本发明具有测量精度高、操作简单、对测量环境要求低，测量速度快，红外热像仪与待测金刚石薄膜样品非直接接触，测量结果准确度高，对待测金刚石薄膜样品的形状没有特殊的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 薄膜 热导率 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石薄膜热导率测量装置，其特征在于，包括悬空载物台(1)、红外热像仪(3)、加热激光光源(4)、红外热像仪控制系统(5)以及红外热图分析系统(6)，悬空载物台(1)上端用于放置待测金刚石薄膜样品，红外热像仪(3)设置于悬空载物台(1)上端，红外热像仪(3)连接于用于对红外热像仪(3)进行参数设定与控制的红外热像仪控制系统(5)，红外热图分析系统(6)串行通信接口与红外热像仪(3)连接，通过红外热图分析系统(6)提取不同时刻待测样品表面热辐射温度图像上不同像素点的热辐射温度，加热激光光源(4)用于待测金刚石薄膜样品加热。
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