[发明专利]一种晶片传输系统有效
申请号: | 201710634904.3 | 申请日: | 2017-07-30 |
公开(公告)号: | CN107507796B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 胡冬冬;李娜;许开东 | 申请(专利权)人: | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人: | 孟海娟;袁建水 |
地址: | 221300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶片传输系统,包括:加载腔室,呈长方体状,并在一侧设有开口;伸缩导向机构,安装在所述加载腔内,包括纵移导向装置和横移导向装置,其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上,所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中;机械手,为平板状,一端设有凹槽用于放置晶片,另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处伸出;伸缩驱动机构,与所述横移导向装置相连接,带动所述机械手进行伸缩运动,从所述加载腔的开口处伸出或回收;伸缩限位机构,安装在所述伸缩驱动机构上,对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。进一步地,本发明还包括升降导向机构和升降驱动机构,可以实现对晶片的升降传输。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶片 传输 系统 | ||
【主权项】:
1.一种晶片传输系统,其特征在于,包括:加载腔室,呈长方体状,并在一侧设有开口;伸缩导向机构,安装在所述加载腔内,包括纵移导向装置和横移导向装置,其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上,所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中,其中,所述纵移导向装置包括固定导向杆和固定座,通过所述固定座将所述固定导向杆以与所述加载腔室的设有所述开口的面相垂直的方式安装在所述加载腔室中,所述横移导向装置包括横移导向杆、滑块、过渡块和摇臂,其中,所述横移导向杆通过所述滑块以可移动的方式安装在所述固定导向杆上,所述过渡块以可移动的方式安装在所述横移导向杆上,所述过渡块与所述摇臂相连接,所述摇臂与伸缩驱动机构相连接;机械手,为平板状,一端设有凹槽用于放置晶片,另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处进出;伸缩驱动机构,与所述横移导向装置相连接,带动所述机械手进行伸缩运动,从所述加载腔的开口处伸出或收回;伸缩限位机构,安装在所述伸缩驱动机构上,对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造