[发明专利]一种晶片传输系统

摘要

本发明公开了一种晶片传输系统，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处伸出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或回收；伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。进一步地，本发明还包括升降导向机构和升降驱动机构，可以实现对晶片的升降传输。

主权项

1.一种晶片传输系统，其特征在于，包括：加载腔室，呈长方体状，并在一侧设有开口；伸缩导向机构，安装在所述加载腔内，包括纵移导向装置和横移导向装置，其中所述横移导向装置以可移动的方式安装在所述纵移导向装置上，所述纵移导向装置安装固定在所述加载腔室中,其中，所述纵移导向装置包括固定导向杆和固定座，通过所述固定座将所述固定导向杆以与所述加载腔室的设有所述开口的面相垂直的方式安装在所述加载腔室中，所述横移导向装置包括横移导向杆、滑块、过渡块和摇臂，其中，所述横移导向杆通过所述滑块以可移动的方式安装在所述固定导向杆上，所述过渡块以可移动的方式安装在所述横移导向杆上，所述过渡块与所述摇臂相连接，所述摇臂与伸缩驱动机构相连接；机械手，为平板状，一端设有凹槽用于放置晶片，另一端安装在所述横移导向装置上,整体可从所述加载腔的开口处进出；伸缩驱动机构，与所述横移导向装置相连接，带动所述机械手进行伸缩运动，从所述加载腔的开口处伸出或收回；伸缩限位机构，安装在所述伸缩驱动机构上，对所述机械手的初始位置和终点位置进行限制。