[发明专利]一种基板烘烤装置及方法有效
| 申请号： | 201710637393.0 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN107357141B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 唐元江 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 钟子敏 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板烘烤装置及方法。该装置包括加热板、支撑件及时间控制电路，加热板用于对基板进行加热，支撑件设置在加热板上，用于支撑基板，基板和加热板之间的距离位于预设距离的范围内，时间控制电路用于控制加热板的加热时间，加热时间位于预设加热时间的范围内。通过这种方式，能够改善基板与支撑件的接触点对基板烘烤效果的影响，进而提高烘烤后基板的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烘烤 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板烘烤装置，其特征在于，包括：加热板，用于对基板进行加热；支撑件，设置在所述加热板上，用于支撑所述基板，所述基板和所述加热板之间的距离位于预设距离的范围内；时间控制电路，用于控制所述加热板的加热时间，所述加热时间位于预设加热时间的范围内。
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