[发明专利]具有分级抽气机构的质谱检漏设备及质谱检漏方法

摘要

本发明公开一种具有分级抽气机构的质谱检漏设备及质谱检漏方法，该具有分级抽气机构的质谱检漏设备包括真空腔体、分级抽气机构、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置。该分级抽气机构包括腔体真空泵和前级泵，腔体真空泵与真空腔体导通连接，用于抽出容纳腔内的气体，前级泵与腔体真空泵导通连接，用于在腔体真空泵工作前抽出容纳腔内的气体，以带动腔体真空泵进行工作。因此，通过腔体真空泵与前级泵配合，从而使本发明的具有分级抽气机构的质谱检漏设备具有抽气速度快、极限真空度较高的特点，在抽完真空腔体泵内的气体后，再通过示踪气体源对待测箱体充入示踪气体，然后进行检测，因而还具有检测效率快、准确率高的优点。

主权项

1.一种具有分级抽气机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括：真空腔体、分级抽气机构、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；所述分级抽气机构包括腔体真空泵和前级泵，所述腔体真空泵与所述真空腔体导通连接，用于抽出所述容纳腔内的气体，所述前级泵与所述腔体真空泵导通连接，用于在所述腔体真空泵工作前抽出所述容纳腔内的气体，以带动所述腔体真空泵进行工作；所述示踪气体源用于与所述待测箱体导通连接，以向所述待测箱体提供示踪气体；所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接，用于检测所述容纳腔内的所述示踪气体含量，从而判断所述待测箱体是否合格；所述控制装置与所述前级泵及所述腔体真空泵电连接，用于控制所述前级泵及所述腔体真空泵工作。