[发明专利]热塑性多孔性抛光垫有效
| 申请号： | 201710645617.2 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107685282B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 罗水源;G·C·雅各布;H·桑福德-克瑞;吉田光一;川端克昌;北脇秀亮;高桥祥吾;武居阳祐 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 多孔聚氨基甲酸酯抛光垫包含具有从基底表面向上延伸并且对上表面开放的大孔隙的多孔基质。所述大孔隙与小孔隙互连。所述多孔基质是两种热塑性聚合物的掺合物。第一热塑性聚氨基甲酸酯具有45到60分子％己二酸、10到30分子％MDI‑乙二醇和15到35分子％MDI，以及40,000到60,000的Mn和125,000到175,000的Mw以及2.5到4的Mw比Mn比率。第二热塑性聚氨基甲酸酯具有40到50分子％己二酸、20到40分子％己二酸丁二醇、5到20分子％MDI‑乙二醇和5到25分子％MDI，以及60,000到80,000的Mn和125,000到175,000的Mw以及1.5到3的Mw比Mn比率。 | ||
| 搜索关键词： | 塑性 多孔 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种多孔聚氨基甲酸酯抛光垫，其包括：具有从基底表面向上延伸并且对上表面开放的大孔隙的多孔基质，所述大孔隙与小孔隙互连，一部分所述大孔隙对顶部抛光表面开放，所述大孔隙延伸到具有基本上垂直定向的所述顶部抛光表面，所述多孔基质是包含两种热塑性聚合物的掺合物；具有45到60分子％己二酸、10到30分子％MDI‑乙二醇和15到35分子％MDI的第一热塑性聚氨基甲酸酯，所述第一热塑性聚氨基甲酸酯具有40,000到60,000的Mn和125,000到175,000的Mw以及2.5到4的Mw比Mn比率；以及具有40到50分子％己二酸、20到40分子％己二酸丁二醇、5到20分子％MDI‑乙二醇和5到25分子％MDI的第二热塑性聚氨基甲酸酯，所述第二热塑性聚氨基甲酸酯具有60,000到80,000的Mn和125,000到175,000的Mw以及1.5到3的Mw比Mn比率，并且所述第二热塑性塑料如在100％的拉伸伸长率下(ASTM D886)所测量的拉伸模数比所述第一热塑性聚氨基甲酸酯小至少20％，并且所述第一和第二热塑性聚氨基甲酸酯的所述掺合物如在100％的拉伸伸长率下(ASTM D886)所测量的拉伸模数比所述第二热塑性聚合物大至少30％。
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