[发明专利]一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器有效
| 申请号： | 201710646178.7 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107632066B | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王文;梅盛超;刘鑫璐;梁勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02 |
| 代理公司： | 11472 北京方安思达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈琳琳;李彪<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器，包括：气室(2)、气泵(3)、气管(4)、差分式振荡电路板(1)和两个平行且同向设置于气室(2)内的声表面波延迟线；所述的气泵(3)通过气管(4)与气室(2)连接；在其中一个声表面波延迟线的声表面波传播路径上设置有钯镍合金薄膜；所述的差分式振荡电路板(1)用于将两个声表面波延迟线经氢气作用后输出的电信号进行混频处理，将生成的差频信号作为传感器的输出结果。本发明通过采用一种平行且同向设置的双延迟线型结构，将有助于改善氢气传感系统的温度稳定性，并且获得更高的检测灵敏度；同时通过采用钯镍合金薄膜作为敏感膜来提高声表面波氢气传感器的检测速度。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波延迟线 声表面波 钯镍合金 气室 薄膜 氢气传感器 振荡电路板 同向设置 差分式 气泵 气管 平行 检测灵敏度 温度稳定性 差频信号 传播路径 传感系统 混频处理 氢气作用 输出结果 线型结构 氢气 敏感膜 传感器 延迟 输出 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于钯镍合金薄膜的声表面波氢气传感器，包括：气室(2)、气泵(3)和气管(4)；所述的气泵(3)通过气管(4)与气室(2)连接，用于将氢气输送至气室(2)内；其特征在于，该传感器还包括差分式振荡电路板(1)、两个平行且同向设置于气室(2)内的声表面波延迟线；在其中一个声表面波延迟线的声表面波传播路径上设置有钯镍合金薄膜；所述的差分式振荡电路板(1)用于将两个声表面波延迟线经氢气作用后输出的电信号进行混频处理，将生成的差频信号作为传感器的输出结果；/n所述的钯镍合金薄膜采用磁控溅射技术镀在声表面波延迟线表面，镀膜厚度为10nm～300nm，该钯镍合金薄膜中镍的配比在10％～30％之间；/n所述的声表面波延迟线包括：压电基片(8)和在压电基片(8)上沿声表面波传播方向设置的两个叉指换能器；两个叉指换能器之间设置有钯镍合金薄膜(12)。/n
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