[发明专利]一种显示面板成膜设备及方法

摘要

本发明实施例公开了一种显示面板成膜设备及方法。该显示面板成膜设备包括：至少一个真空腔体，每个真空腔体形成有真空腔室；气体输送系统，与真空腔体连接，用于将气体输送至真空腔室；待成膜基板，设置于真空腔室中；气体流速调控装置，设置于真空腔室中，位于待成膜基板成膜的一侧，且与待成膜基板具有一定间距，输入真空腔室的气体流经气体流速调控装置后，在待成膜基板上成膜；气体流速调控装置用于调控流经气体流速调控装置的不同位置的气体的流速。本发明实施例解决了成膜设备的成膜膜厚及膜质存在差异性的问题，实现了在整张基板不同位置和在不同基板之间成膜的一致性。

主权项

1.一种显示面板成膜设备，其特征在于，包括：至少一个真空腔体，每个所述真空腔体形成有真空腔室；气体输送系统，与所述真空腔体连接，用于将气体输送至所述真空腔室；待成膜基板，设置于所述真空腔室中；气体流速调控装置，设置于所述真空腔室中，位于所述待成膜基板成膜的一侧，且与所述待成膜基板具有一定间距，输入所述真空腔室的所述气体流经所述气体流速调控装置后，在所述待成膜基板上成膜；所述气体流速调控装置用于调控流经所述气体流速调控装置的不同位置的气体的流速；还包括上部电极，位于所述真空腔室中，其中，所述上部电极包括气体扩散腔，所述气体输送系统与所述气体扩散腔相连；所述气体扩散腔靠近所述待成膜基板的一侧形成有多个通气孔，通入所述气体扩散腔的气体经所述通气孔和所述气体流速调控装置输出到所述待成膜基板；所述气体流速调控装置包括：通气孔开合单元，与所述通气孔对应设置，用于调节所述通气孔的可通气区域的大小；还包括：通气孔控制单元，连接于所述通气孔开合单元，用于控制所述通气孔开合单元的开合程度和开合状态；所述通气孔开合单元和所述通气孔控制单元位于所述通气孔靠近所述气体扩散腔一侧。