[发明专利]一种基于临时覆盖层定厚制备磨粒群排布磨盘的方法在审
| 申请号： | 201710647476.8 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107443264A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 黄国钦;王颖达;穆德魁;黄辉;郭桦;徐西鹏 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | B24D7/06 | 分类号： | B24D7/06;B24D18/00;B24D3/28 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司35204 | 代理人： | 张松亭,张迪 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于临时覆盖层定厚制备磨粒群排布磨盘的方法，包含以下步骤1)依据所需结合层厚度确定临时覆盖层的厚度；2)根据磨粒图案的分布对临时覆盖层进行镂空处理；3)将临时覆盖层粘覆于磨盘基体上；4)将磨粒与固化剂填充进镂空处,包括以下三种方法4.1)磨粒与固化剂混合后填充进镂空处；4.2)固化剂先填充进镂空处，之后再填充磨粒；4.3)磨粒先植入镂空处，之后再填充固化剂；5)将磨粒固定于基体，包括以下两种方法5.1)先移除临时覆盖层，在通过固化处理将磨粒固定于基体。5.2)通过固化处理将磨粒固定于基体上，再将临时覆盖层移除。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 临时 覆盖层 制备 磨粒群 排布 磨盘 方法 | ||
【主权项】：
一种基于临时覆盖层定厚制备磨粒群排布磨盘的方法，所述的磨盘为包括但不限于磨轮、砂轮、钻头、端面磨盘、滚轮、修整器、CMP修整器、磨垫，其特征在于包含以下步骤：1)依据所需结合层厚度确定临时覆盖层的厚度；2)根据磨粒图案的分布对临时覆盖层进行镂空处理；3)将临时覆盖层粘覆于磨盘基体上；4)将磨粒与固化剂填充进镂空处,包括以下三种方法：4.1)磨粒与固化剂混合后填充进镂空处；4.2)固化剂先填充进镂空处，之后再填充磨粒；4.3)磨粒先植入镂空处，之后再填充固化剂；5)将磨粒固定于基体，包括以下两种方法：5.1)先移除临时覆盖层，在通过固化处理将磨粒固定于基体。5.2)通过固化处理将磨粒固定于基体上，再将临时覆盖层移除。
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