[发明专利]一种干法蚀刻设备的尾气处理装置有效
| 申请号： | 201710647567.1 | 申请日： | 2017-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN107469514B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 肖文欢 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/06 | 分类号： | B01D47/06;F23G5/44;F23G7/06;F23J15/00 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种干法蚀刻设备的废气处理装置，包括：第一输入部、第二输入部以及空气动力学管路，其中，所述第一输入部和所述第二输入部通过所述空气动力学管路相连通，所述第一输入部和所述第二输入部中排出的气体通过所述空气动力学管路向外排出。有益效果：通过设置一空气动力学管路，增加第一排气管路中废气的流速，减少第一排气管路中积尘现象；同时，第二排气管路中湿度为零的高速气流，可以中和第一排气管路中高湿度废气，从而改善第一排气管路的酸性积液问题，改善管路的腐蚀问题，节约了蚀刻工艺整体的成本，延长了机台保养的周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 设备 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种干法蚀刻设备的尾气处理装置，其特征在于，包括：第一输入部、第二输入部以及空气动力学管路；/n所述第一输入部和所述第二输入部通过所述空气动力学管路相连通，所述第一输入部和所述第二输入部中排出的气体通过所述空气动力学管路向外排出；/n所述第一输入部包括制程腔、第一干泵、燃烧室、水箱、水洗塔、汽水分离器、第一排气管路以及至少两个调节阀，所述第一排气管路中的气体为预定湿度、预定酸度且含粉尘的废气；/n所述第二输入部包括第二干泵、基板载入载出室、第二排气管路以及至少两个调节阀，所述第二排气管路中的气体为压缩空气或者氮气，所述压缩空气或氮气为具有预定流速、湿度为零的气体。/n
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