[发明专利]一种衰减全反射式太赫兹光谱测量探头

摘要

本发明公开了一种衰减全反射式太赫兹光谱测量探头，探头实体由上椭圆面、下椭圆面、圆形平面、上锥面和下锥面组成，上锥面上设置有上椭圆面左焦点，太赫兹发射源设置在上椭圆面左焦点上，下锥面上设置有下椭圆面左焦点，太赫兹探测器设置在下椭圆面左焦点上，圆形平面的圆心上设置有上下椭圆面右焦点，圆形平面上设有中央测量窗口；本发明采用一体式光学设计，有效提高探头工作的稳定性；太赫兹波束在探头实体内部传输，且探头实体外表面涂覆金属膜，可有效避免空气水汽等环境因素对测量结果的不良影响；太赫兹波束在测量界面处为会聚光斑，有效提高功率密度，提升测量信噪比，减小对测量样品的接触表面积要求。

主权项

1.一种衰减全反射式太赫兹光谱测量探头，其特征在于：包括探头实体（1）、太赫兹发射源（2）和太赫兹探测器（3），所述的探头实体（1）采用高阻硅件，由上椭圆面（11）、下椭圆面（14）、位于后侧的圆形平面（15）以及位于前方的上锥面（12）和下锥面（13）组成，所述的上锥面（12）和下锥面（13）的夹角为90°，所述的上锥面（12）上设置有上椭圆面左焦点（4），所述的太赫兹发射源（2）设置在上椭圆面左焦点（4）上，所述的下锥面（13）上设置有下椭圆面左焦点（5），所述的太赫兹探测器（3）设置在下椭圆面左焦点（5）上，所述的圆形平面（15）的圆心上设置有上下椭圆面右焦点（6），所述的圆形平面（15）上位于上下椭圆面右焦点（6）处设置有中央测量窗口。