[发明专利]一种氧化镍-钛酸钡纳米复合铁电薄膜材料及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201710651293.3 | 申请日： | 2017-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN107604310B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 宁兴坤;陈明敬;王淑芳;傅广生 | 申请（专利权）人： | 河北大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/08;C23C14/28 |
| 代理公司： | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人： | 苏艳肃 |
| 地址： | 071002 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氧化镍‑钛酸钡纳米复合铁电薄膜材料及其制备方法与应用，所述薄膜具有（001）面晶体取向，包括体积百分比为10~30%的氧化镍与体积百分比为70~90%的钛酸钡；所述制备方法包括采用固相沉积法制备钛酸钡、氧化镍和氧化镍‑钛酸钡复合靶材；再采用脉冲激光沉积法，通过控制沉积参数制备得到纳米层状、纳米柱状和纳米颗粒氧化镍‑钛酸钡复合铁电薄膜。本发明工艺简单，所得到的纳米复合薄膜具有微观组织结构连续可调、纳米尺度的晶粒分布均匀、薄膜厚度精确可控和晶体取向外延等优点，有效提高了复合薄膜材料的铁电性能，增强了介电性能，所得高性能材料可用于铁电存储器件、超级电容器、晶体场效应管、声表面波器件等领域，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化镍 钛酸钡 制备 电薄膜 复合铁 体积百分比 钛酸钡纳米 薄膜 脉冲激光沉积法 复合薄膜材料 晶体取向外延 纳米复合薄膜 声表面波器件 铁电存储器件 微观组织结构 应用前景广阔 超级电容器 高性能材料 晶体场效应 复合靶材 固相沉积 介电性能 晶粒分布 晶体取向 连续可调 纳米层状 纳米尺度 纳米颗粒 纳米柱状 铁电性能 可控 可用 沉积 应用 | ||
【主权项】：
1.一种氧化镍‑钛酸钡纳米复合铁电薄膜材料，其特征在于，其具有（001）面晶体取向；包括体积百分比为10~30%的氧化镍与体积百分比为70~90%的钛酸钡；该氧化镍‑钛酸钡纳米复合铁电薄膜材料由脉冲激光沉积法制得。
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