[发明专利]面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置有效

专利信息
申请号: 201710655583.5 申请日: 2017-08-03
公开(公告)号: CN107504895B 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 闫鹏;鲁帅帅;李建明 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01B11/02
代理公司: 37221 济南圣达知识产权代理有限公司 代理人: 赵敏玲<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 250061山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置,包括平台本体、运动部分;本发明借助底座与回复弹簧的配合增加了光栅读数头在实际应用过程中的自由度,同时引入微分头与楔形块,借助斜面传动实现底座运动的微调,而微调位移借助微分头读数可以直接读取提高了使用者的可操作性。同时,技术方案中在运动部分与光栅尺配合的侧面分别引入定位条结构,实现了光栅尺的定位精度,在实际装配时不需要特殊夹具即可实现光栅尺的高精度装配,满足本发明中对光栅尺零点位置精度的要求。
搜索关键词: 面向 光栅 型微纳 定位 平台 零点 微调 装置
【主权项】:
1.面向光栅型微纳定位平台的零点微调装置,其特征在于,包括平台本体、运动部分、光栅读数头、光栅尺、楔形块、微分头、底座和回复弹簧;/n所述的平台本体为方形结构,在所述的平台本体中心位置为运动部分;所述运动部分的两个相邻侧立面安装有光栅尺,运动部分与光栅尺配合的侧立面分别引入定位条结构,实现了光栅尺的定位精度,在实际装配时不需要特殊夹具即可实现光栅尺的高精度装配,且这两个侧立面与平台本体之间设有一个容纳光栅尺读数头的空腔,所述的光栅尺读数头安装在一个底座上,所述的底座的横截面为直角梯形结构,底座的直角边结构侧面中心位置设有容纳回复弹簧的圆形盲孔,回复弹簧一端插装在该盲孔内,另一端插在空腔内壁上处于压缩状态;所述底座的斜边结构侧面安装有一个楔形块,所述的楔形块的斜面与该斜边结构侧面配合,在该楔形块内设有一个凹面,所述微分头的一端与该凹面配合,微分头的另一端设有螺纹,安装在平台本体的螺纹孔内;通过旋转微分头实现底座的前后滑移,微分头与楔形块,借助斜面传动实现底座运动的微调。/n
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