[发明专利]一种基于高频斩波平反镜与振镜高速打孔光学系统

摘要

本发明公开了一种基于高频斩波平反镜与振镜高速打孔光学系统，包括第一平反镜、第二平反镜、聚焦扩束镜、高频斩波平反镜、第一准直扩束镜、第三平反镜、第四平反镜、第一振镜、第一f‑θ镜、第五平反镜、第六平反镜、第七平反镜、第二准直扩束镜、第二振镜、第二f‑θ镜。本发明结构设计新颖，采用高频斩波平反镜与振镜扫描结合，适用于中低功率连续CO2激光器高速密集打孔，尤其适用于薄非金属材料激光密集打孔场合。

主权项

一种基于高频斩波平反镜与振镜高速打孔光学系统，其特征在于：包括第一平反镜(2)、第二平反镜(3)、聚焦扩束镜(4)、高频斩波平反镜(5)、第一准直扩束镜(7)、第三平反镜(8)、第四平反镜(9)、第一振镜(10)、第一f‑θ镜(12)、第五平反镜(13)、第六平反镜(14)、第七平反镜(15)、第二准直扩束镜(16)、第二振镜(17)、第二f‑θ镜(19)；所述第一平反镜(2)、第二平反镜(3)、聚焦扩束镜(4)、第一准直扩束镜(7)、第三平反镜(8)、第四平反镜(9)、第一f‑θ镜(12)、第五平反镜(13)、第六平反镜(14)、第七平反镜(15)、第二准直扩束镜(16)、第二f‑θ镜(19)均为圆柱状；所述高频斩波平反镜(5)为等角多扇形柱状，轻质铝合金材料；所述第一振镜(10)与第二振镜(17)为八边形柱状。