[发明专利]泵装置及基板处理装置有效
| 申请号： | 201710656988.0 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN107774464B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 柏山真人 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | B05B9/04 | 分类号： | B05B9/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇;崔炳哲 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供泵装置及基板处理装置。该泵装置包括驱动机构，该驱动机构通过使两个隔膜变形，来交替地增加及减小供给室的容积。此时，针对单个供给室设置有两个隔膜。由此，即使各个隔膜的变形量受到限制，也能够吸引并送出所希望的体积量的液体。另外，由于设置有两个隔膜，因此在吸引并送出所希望的体积量的液体时，能够抑制各个隔膜的变形量。由此，能够选择短行程的隔膜，因此能够抑制液体的滞留，从而能够抑制液体的品质劣化。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 处理 | ||
【主权项】：
一种泵装置，用于输送液体，其特征在于，包括：单个供给室，使液体流动；两个隔膜，安装于上述供给室的内壁，分别构成上述供给室的内壁的一部分；以及，驱动机构，通过使上述两个隔膜发生变形，来交替地增加及减少上述供给室的容积。
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