[发明专利]基板断开系统有效
| 申请号： | 201710658411.3 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN108107617B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 上野勉 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板断开系统，其能省略作业人员的检查操作并能提高断开后的操作效率。基板断开系统(1)具有基板断开装置(3)、基板检查装置(5)以及基板输送装置(11)。基板断开装置(3)是用于切除贴合基板(G)的端部的装置。贴合基板(G)具有在表面上形成有用于切除端材(GL)的划线(S)的第一基板(G1)、以及贴合于第一基板(G1)的背面的第二基板(G2)。基板检查装置(5)检查贴合基板(G)的端部去除状态。基板输送装置(11)使吸附贴合基板(G)的吸附部(47a～47d)绕支柱(41a)旋转来输送贴合基板(G)。在吸附部(47a～47d)的旋转路径上配置有基板断开装置(3)和基板检查装置(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 断开 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基板断开系统，具备：断开装置，用于切除贴合基板的端部，所述贴合基板具有第一基板和第二基板，所述第一基板在表面形成有用于切除端部的划线，所述第二基板贴合于所述第一基板的与所述表面相反一侧的背面；检查装置，检查所述贴合基板的端部去除状态；以及输送装置，通过使吸附所述贴合基板的吸附部绕轴心旋转来输送所述贴合基板，其中，在所述吸附部的旋转路径上配置有所述断开装置和所述检查装置。
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