[发明专利]一种燃料电池金属双极板高效环形真空镀膜装置

摘要

本发明涉及一种燃料电池金属双极板高效环形真空镀膜装置，包括真空腔室，离子源，靶材，工件架，工件架传输系统，真空系统，隔离系统以及电控系统。上述高效环形磁控溅射装置相比原来的圆形腔体去掉了腔室中心与镀膜无关的区域，增大了镀膜有效利用体积比例，缩短了抽气时间，提高了镀膜效率。其次，采用对靶溅射的方式，基片不自转，保持了靶基距的恒定，有利于镀膜的均匀性。同时缩短了两靶距离，较圆形大腔室可以更好地形成闭合磁场，有利于增强膜基结合力。同时环形腔室可以分成多个分腔室，分腔室内安装一对同种类的靶材，可以在基片表面沉积多层复合涂层。与现有技术相比，本发明镀膜效率高，膜层质量好，良率高，对燃料电池双极板涂层产业化具有重大意义。

主权项

1.一种燃料电池金属双极板高效环形真空镀膜装置，其特征在于，该装置包括真空腔室，离子源，靶材，工件架，工件架传输系统，真空系统，隔离系统以及电控系统，/n所述的真空腔室由多个弧形分腔室串联组成，在地面上铺设不同朝向的轨道，各分腔室底部固定有与轨道配合的导轨，导轨上安装位置传感器，对分腔室位置进行精确控制，各弧形分腔室之间的连接部位设有法兰和真空密封圈，以螺栓连接；/n所述的离子源及靶材安装在各分腔室的内壁；/n所述的工件架包括沿圆周方向均布的可装夹多个金属极板的挂具；/n所述的工件架传输系统包括驱动工件架公转的传动机构，定位精度检测传感器及PLC控制系统；/n所述的真空系统保证所述的真空腔室达到工艺所需真空度，包括抽气口、不同精度等级的真空泵、切换阀门、真空计、等离子体浓度检测传感器及真空密封圈；/n所述的隔离系统屏蔽等离子体向相邻分腔室的扩散，并能确保工件架通过；/n所述的电控系统包括电源电路及控制电路的控制系统及控制面板，PLC控制模块及相关检测传感器。/n