[发明专利]线性蒸发源及包括线性蒸发源的沉积装置

摘要

公开了线性蒸发源及包括该线性蒸发源的沉积装置，该线性蒸发源包括坩埚、加热单元和喷嘴单元，其中：坩埚配置成容纳蒸发材料；加热单元包围坩埚并且加热坩埚；喷嘴单元位于坩埚上方，该喷嘴单元包括喷嘴板和从喷嘴板突出的至少一个喷嘴。坩埚的长度是坩埚的宽度的约5倍至约30倍。坩埚包括相对于坩埚的总重量的约95.0重量百分比(wt％)至约99.99wt％的量的钼(Mo)和约0.01wt％至约5wt％的量的氧化镧(La2O3)。

主权项

线性蒸发源，包括：坩埚，配置成容纳蒸发材料；加热单元，包围所述坩埚并且配置成加热所述坩埚；以及喷嘴单元，位于所述坩埚上方，所述喷嘴单元包括喷嘴板和从所述喷嘴板突出的至少一个喷嘴，其中所述坩埚的长度是所述坩埚的宽度的5倍至30倍，以及所述坩埚包括相对于所述坩埚的总重量的95.0wt％至99.99wt％的量的钼和0.01wt％至5wt％的量的氧化镧。