[发明专利]一种微型超级电容器的制备方法

摘要

一种微型超级电容器的制备方法，涉及超级电容器。搭建扫描电子显微镜原位探针设备；组装微型超级电容器；相关测试。从微观角度，借助特殊的微量电解液使得可以在扫描电子显微镜里组装微型超级电容器，研究微型尺寸下电极材料与电解液充分接触的情况下其电化学性能，并观察在此过程中可能存在的现象，能够满足广大消费者对超级电容器高温安全性能的需求，具有制备方法简单、成本低廉、安全性高、电化学性能优异的特点。制备出的微型超级电容器尺寸微小，可达1um³～10um³，在可穿戴设备和微电子领域具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种微型超级电容器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：1)搭建扫描电子显微镜原位探针设备：将机械手安装在固定台上，连接数字芯片，在机械手的金属杆上安装钨探针，用导线将电镜门前面的定制的接口与机械手手动调控装置连接，使调控装置与数字芯片连通，在扫描电子显微镜内对机械手进行原位操作；调节3个机械手使针尖尖端对准样品台中心；2)组装微型超级电容器：选取电极材料，沾取电解液，组装超级电容器，具体操作如下：抽真空后，给电镜加10～20kV的电压，通过操作机械手的调控装置，分别在视野中找到目标针尖，包括1号针尖、2号针尖和3号针尖，其中1号针尖事先沾有样品，所述样品为纳米线、纳米棒和纳米片，将电镜放大到合适的倍数，在1号针尖上选取样品，再分别用2号针尖和3号针尖在1号针尖选取的单根纳米线或单根纳米棒，或者至少一层纳米片，调节样品和针尖，使样品和针尖两者在同一高度并让两者接触，然后将机械手手动调控装置的外接接口选择相对应的接口接上安捷伦精密电源，对已经接触的样品和针尖加1～20V的电压，利用样品和针尖接触的地方的焦耳热使样品和针尖融合在一起，形成牢固的结构；2号针尖和3号针尖获取样品后，调节1号针尖，使1号针尖后端的电解液出现在视野中，调节2号针尖和3号针尖，使2号针尖和3号针尖接触电解液，形成微型超级电容器的简易结构；3)相关测试。