[发明专利]一种制备管状靶材的方法有效
| 申请号： | 201710661544.6 | 申请日： | 2017-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN107557737B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 曾玉林;万捷;徐晓华 | 申请（专利权）人： | 领凡新能源科技(北京)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C4/08;C23C4/134;C23C4/131;C23C4/129;C23C28/02;C23C24/04;B22F9/08 |
| 代理公司： | 11584 北京智晨知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 101407 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种制备管状靶材的方法，所述方法包括：选取已经过清洗和粗化处理的不锈钢背衬管；在含氧气氛中采用真空气雾化方法制备(铜铟镓)合金粉末；在大气气氛中，采用等离子喷涂或冷喷涂等方法在背衬管上喷涂过渡层，得到包含过渡层的不锈钢背衬管；在大气气氛中，采用等离子喷涂法在所述包含过渡层的不锈钢背衬管表面喷涂靶材层。本申请的方法在大气气氛中制备管状靶材，降低了生产成本，简化了生产工艺，而且制备的管状靶材的氧含量较低，性能较好。 | ||
| 搜索关键词： | 背衬管 制备 大气气氛 管状靶材 过渡层 不锈钢 等离子喷涂法 等离子喷涂 真空气雾化 表面喷涂 粗化处理 含氧气氛 合金粉末 冷喷涂 铜铟镓 喷涂 靶材 生产工艺 生产成本 清洗 申请 | ||
【主权项】：
1.一种制备管状靶材的方法，所述方法包括：/n选取已经过清洗和粗化处理的不锈钢背衬管；/n在大气气氛中，采用等离子喷涂法、电弧喷涂法、超音波火焰喷涂法或冷喷涂法在选取的不锈钢背衬管表面喷涂过渡层，得到包含过渡层的不锈钢背衬管；/n在大气气氛中，采用等离子喷涂法在所述包含过渡层的不锈钢背衬管表面喷涂靶材层；/n其中，形成所述过渡层和所述靶材层的合金粉末的表面具有氧化物层，且形成所述靶材层的合金粉末的粒径为10～150μm。/n
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