[发明专利]掩膜版清洁装置

摘要

本发明公开了一种掩膜版清洁装置，包括吸附筒体，所述吸附筒体的第一端设置有吸嘴，所述吸附筒体通过气管与吸气装置流体连通，其中，所述吸附筒体中设置有旋转电机和刀片，所述刀片连接在所述旋转电机的旋转轴上，所述刀片位于所述吸附筒体中且邻近于所述吸嘴。所述掩膜版清洁装置，针对粘连在掩膜版上的类毛线异物，首先通过吸附作用将类毛线异物的主体吸入到吸附筒体的吸嘴中，然后通过刀片旋转切割将类毛线异物从掩膜版上切断，最后将切断的异物吸附去除，由此可以有效地清除掩膜版上粘连的发丝、棉线、毛线和纤维等类毛线异物。

主权项

一种掩膜版清洁装置，包括吸附筒体，所述吸附筒体的第一端设置有吸嘴，所述吸附筒体通过气管与吸气装置流体连通，其特征在于，所述吸附筒体中设置有旋转电机和刀片，所述刀片连接在所述旋转电机的旋转轴上，所述刀片位于所述吸附筒体中且邻近于所述吸嘴。