[发明专利]一种PECVD镀膜的气体控制方法以及设备

摘要

本发明涉及太阳能电池制造技术领域，尤其是涉及一种PECVD镀膜的气体控制方法以及设备。该方法包括如下步骤：将硅烷供气管路、氨气供气管路和笑气供气管路分别连接于PECVD的反应腔，并在每种供气管路上配置有一气体流量控制器；根据每层待镀的膜层结构设定硅烷、氨气和笑气三种气体的流量参数；气体流量控制器分别按照所设定的流量参数控制输入对应的气体至PECVD的反应腔中。该方法通过气体流量控制器既能实现定量控制气体的流量，又能实现变量控制气体的流量，而且在镀膜时分别向PECVD的反应腔中通入氨气、硅烷和笑气三种气体，因此该方法生产的膜层结构具有较好的光学特性。