[发明专利]飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法有效
| 申请号： | 201710666755.9 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN107607852B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 谭艳萍;王星;翟学涛;杨朝辉;高云峰 | 申请（专利权）人： | 大族激光科技产业集团股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 刘雯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种飞针测试机的运动轴的控制方法及定位精度的校正方法。上述的飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法包括：根据飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，校正板上开设有网格状的测试点矩阵，测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，测试点A和测试点B的连线方向为X轴方向；设定测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；用自动光学检测仪测试测试点矩阵的每个测试点相对于测试点A与测试点B其中之一的坐标数据；将校正板放置于测试区域。校正后的飞针测试机的XY轴的精度为测试时的定位精度，保证了飞针测试机具有较高的测试精度，解决了飞针测试机的测试精度较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 运动 控制 方法 定位 精度 校正 | ||
【主权项】：
1.一种飞针测试机的运动轴的定位精度的校正方法，其特征在于，包括：根据所述飞针测试机的测试区域设计校正板，其中，所述校正板上开设有网格状的测试点矩阵，所述测试点矩阵的四个顶点分别为测试点A、测试点B、测试点C和测试点D，所述测试点A和所述测试点B的连线方向为X轴方向，所述测试点A和所述测试点C的连线方向为Y轴方向；设定所述测试点矩阵在X轴方向和在Y轴方向的定位误差的允许值；用自动光学检测仪测试所述测试点矩阵的每个所述测试点相对于所述测试点A与所述测试点B其中之一的坐标数据；将所述校正板放置于所述测试区域；测试所述测试点A和所述测试点B的位置信息，以获得所述校正板的旋转角度；根据每个所述测试点的坐标数据和所述旋转角度，计算出每个所述测试点的理论坐标；通过所述飞针测试机上的Z轴上的CCD测出每个所述测试点的实际坐标；将每个所述测试点的所述理论坐标与所述实际坐标进行比较，得出每个所述测试点的绝对误差校正值；以及根据每个所述测试点的绝对误差校正值对相应的所述测试点进行校正，以得到每个测试点的定位精度校正值。
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