[发明专利]一种光波导模斑转换器及其制作方法在审
| 申请号： | 201710669541.7 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107346049A | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 刘柳;秦子翔;阮子良;刘宇轩;陈伟 | 申请（专利权）人： | 苏州易缆微光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/14 | 分类号： | G02B6/14;G02B6/122 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光波导模斑转换器及其制作方法，采用了集成微电子工艺方法，在绝缘体层上硅基底上，制作硅波导和锥型光波导，再在锥型光波导尖端之后，对二氧化硅掩埋层和硅衬底进行深刻蚀，之后再沉积二氧化硅，并进行化学机械抛光，再在得到的平面基底结构上沉积氮化硅层，并将氮化硅层刻蚀出组合锥型光波导，最后沉积二氧化硅上包层实现模斑转换器的制作。本发明可以实现硅纳米光波导与普通单模光纤直接进行端面连接，而不必使用锥型透镜光纤，降低了光从普通单模光纤到波导传播过程中从硅衬底的辐射损耗，提高了与单模光纤模斑匹配度，提高了光的耦合效率，便于大规模光路集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 转换器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种光波导模斑转换器，其特征在于，包括：上包层(1)，中间包层(2)，绝缘体层(3)，衬底(4)，第一光波导(5)和第二光波导(6)，所述的绝缘体层(3)置于所述衬底(4)上，所述的绝缘体层(3)上依次设置中间包层(2)、上包层(1)；所述第一光波导(5)置于中间包层(2)和所述绝缘体层(3)之间，所述第二光波导(6)置于所述上包层(1)和所述中间包层(2)之间；所述的第一光波导(5)和第二光波导(6)相对设置，第一光波导(5)和第二光波导(6)相对的一侧为锥型；所述的第二光波导(6)与第一光波导(5)相向的一侧也为锥型端，其尖端的模场与单模光纤中的模场相匹配；所述的第一光波导(5)与第二光波导(6)相向的一侧为矩形。
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