[发明专利]一种快速获取真空的电子直线加速器在审
申请号: | 201710670611.0 | 申请日: | 2017-08-08 |
公开(公告)号: | CN109392232A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
发明(设计)人: | 刘灵锋;王克来 | 申请(专利权)人: | 上海卓亚医疗科技有限公司 |
主分类号: | H05H7/00 | 分类号: | H05H7/00 |
代理公司: | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人: | 宣慧兰 |
地址: | 201500 上海市金山区金山工*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种快速获取真空的电子直线加速器,包括加速管(1),所述的加速管(1)一端设有一个用于连接真空泵的第一真空泵接口,另一端通过泵连接管(3)连接靶端离子泵(2),所述的泵连接管(3)上还设有一个用于连接另一个真空泵的第二真空泵接口,所述的电子直线加速器还设有真空自动控制模块,所述的真空自动控制模块分别连接两个真空泵。与现有技术相比,本发明能够快速获取真空,结构简单,易于实现。 | ||
搜索关键词: | 电子直线加速器 快速获取 真空泵 自动控制模块 真空泵接口 加速管 连接管 离子泵 靶端 | ||
【主权项】:
1.一种快速获取真空的电子直线加速器,包括加速管(1),所述的加速管(1)一端设有一个用于连接真空泵的第一真空泵接口,另一端通过泵连接管(3)连接靶端离子泵(2),其特征在于,所述的泵连接管(3)上还设有一个用于连接另一个真空泵的第二真空泵接口,所述的电子直线加速器还设有真空自动控制模块,所述的真空自动控制模块分别连接两个真空泵。
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