[发明专利]一种基于氧化锌纳米带的紫外线传感器的制作方法在审
| 申请号： | 201710670661.9 | 申请日： | 2017-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN107492583A | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 孙丽;刘永臣;江诚明 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 223003*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于氧化锌纳米带的紫外线传感器的制作方法，包括以下步骤（1）将高指数晶面约束的氧化锌纳米带放在绝缘硅片上；（2）将氧化锌纳米带的两端固定在绝缘硅片上，同时分别引出两根导线，静置；（3）用氧等离子体刻蚀掉氧化锌纳米带表面的杂质，然后利用双功能试剂在氧化锌纳米带表面固定一层尿酸酶，静置，完成紫外线传感器制备。使用本发明提供的方法制作的紫外线传感器具有较好的电学反应稳定性；对紫外线光的照射，反应速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 氧化锌 纳米 紫外线 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基于氧化锌纳米带的紫外线传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将高指数晶面约束的氧化锌纳米带放在绝缘硅片上；（2）将氧化锌纳米带的两端固定在绝缘硅片上，同时分别引出两根导线，静置；（3）用氧等离子体刻蚀掉氧化锌纳米带表面的杂质，然后利用双功能试剂在氧化锌纳米带表面固定一层尿酸酶，静置，完成紫外线传感器制备。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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