[发明专利]用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法有效
| 申请号： | 201710676708.2 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN107475681B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 田晶;胡超;孙红霞;李雪松;江湖;王溢欢;易珊;胡鹏臣 | 申请（专利权）人： | 领凡新能源科技(北京)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 11584 北京智晨知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 101407 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其中，包括：在柔性衬底的受热面上形成热接收层，并将热接收层的辐射系数控制在设定的范围内；采样测量热接收层在加热单元处的辐射系数；根据采样测量获得的辐射系数对采样位置处的加热单元的温度进行控制。本发明提供的用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，通过在柔性衬底上加工热接收层，并根据热接收层的辐射系数精确匹配加热温度，使柔性衬底上的各处可以获得均匀的热量，保证膜层在柔性衬底上的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 热接收 辐射系数 采样测量 加热单元 均匀控制 采样位置 受热 均匀性 膜层 加热 匹配 加工 保证 | ||
【主权项】：
1.一种膜层制程工艺中用于均匀控制大面积柔性衬底温度的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n在柔性衬底的受热面上形成热接收层，并将所述热接收层的辐射系数控制在设定的范围内，所述柔性衬底的受热面为所述柔性衬底的第一表面，所述柔性衬底的与所述第一表面相对第二表面用于进行膜层制程工艺；/n采样测量所述热接收层在加热单元处的辐射系数；/n根据采样测量获得的辐射系数，对采样位置处对应的加热单元的温度进行控制。/n
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